小編帶你快速走進精密位移平臺技術百科

添加時間：2020-6-9 8:38:19 作者：浙江金科機械傳動有限公司

1.精密位移平臺基本定義
近年來，隨著微電子技術，宇航，生物工程等學科的迅速發展，正式進入了“亞微米-納米”時代。在電子，光學，機械制造等眾多技術領域中，迫切需要高精度，高分辨率，高可靠性的微定位系統，用以直接工作或配合其他儀器設備完成高精度的研究和使用。微定位技術在微機電系統，納米制造技術，微電子及納米電子技術，納米生物工程等眾多高科技領域將發揮越來越重要的作用。
微納米加工技術的發展,離不開精密工作臺技術的發展與進步。所有納米操作及超級精密制造的研究及應用領域的進一步發展，都需要依靠高精度的定位平臺和更高的控制精度。精密工作臺是集精密位置檢測技術、驅動技術、直線導向技術、控制技術等多項技術為一體的有機綜合體。


2.精密位移平臺分類
精密位移工作臺系統包括微位移機構，檢測系統，控制系統三部分，微位移機構由微位移器和導軌組成。按其形式可分為以下五類：
（1）平行彈性導軌，機械式，電磁、壓電或電致伸縮微位移器驅動。
（2）柔性支承，壓電或電致伸縮微位移器驅動。
（3）滾動導軌，壓電或電致伸縮微位移器驅動。
（4）滑動導軌，機械式驅動。
（5）氣浮導軌，伺服電機或直線電機驅動。